AMAT, 결함 검출 비용 3배 줄인 최신형 반도체 검사 솔루션 공개 AMAT, 빅데이터와 인공지능 기술을 결합해 기존보다 반도체 결합 검출 비용 3배 줄이는 검사 솔루션 삼성전자 파운드리 공정에 사용 중 & 메모리 공정에도 확대 적용 예정 → 21년 4월 기사이므로 이미 적용되었을 듯 광학 웨이퍼 검사 시스템 '인라이트', 전자빔 리뷰 시스템 'SEM 비전’, 빅데이터 기반 AI 추론 솔루션 '익스트랙트 AI' 인라이트에서 수집한 데이터를 SEM 비전으로 보낸 후, 익스트랙트 AI가 이를 분석해 노이즈를 제거한 순수 Defect Map(수율 저하 요인)을 검출하는 방식으로 동작 https://zdnet.co.kr/view/?no=20210420130631 AMAT, 결함 검출 비용 3배 줄인 최신형 반..